二氧化硅膜的质量要求有（）。
A:薄膜表面无斑点
B:薄膜中的带电离子含量符合要求
C:薄膜表面无针孔
D:薄膜的厚度达到规定指标
E:薄膜厚度均匀，结构致密
出自：集成电路制造工艺员

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