下图为硅外延生长速度对H<sub>2</sub>中SiCL<sub>4</sub>摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。 <img src="/Image1/74/74afa62ac05397596119a0340795857b.png" /> - 自考题库

下图为硅外延生长速度对H₂中SiCL₄摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。

出自：半导体芯片制造工

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