晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
A:除去光刻胶中剩余的溶剂
B:增强光刻胶对晶片表面的附着力
C:提高光刻胶的抗刻蚀能力
D:有利于以后的去胶工序
E:减少光刻胶的缺陷
出自：集成电路制造工艺员

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