硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。
A:粒子的扩散
B:化学反应
C:从气体源通过强迫性的对流传送
D:被表面吸附
出自：集成电路制造工艺员

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