在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更适合应用在()。
A:晶圆顶层的保护层
B:多层金属的介质层
C:多晶硅与金属之间的绝缘层
D:掺杂阻挡层
E:晶圆片上器件之间的隔离
出自:集成电路制造工艺员