恒定表面浓度的条件下,在整个扩散期间,()保持恒定表面浓度。
A:源蒸气
B:杂质和惰性气体混合物
C:水蒸气和杂志混合物
D:杂质、惰性气体、水蒸气混合物
出自:集成电路制造工艺员