在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。
A:CA光刻胶对深紫外光吸收小
B:CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C:CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D:有较高的光敏度
E:有较高的对比度
出自：集成电路制造工艺员

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