对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。
A:入射离子的能量
B:入射离子的质量
C:入射离子的原子序数
D:靶原子的质量、原子序数、原子密度
E:注入离子的总剂量
出自：集成电路制造工艺员

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