在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。
A:耐热陶瓷器皿
B:金属器皿
C:石英舟
D:玻璃器皿
出自：集成电路制造工艺员

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