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下列有关曝光系统的说法正确的是()。
A:投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高
B:接触式的分辨率优于接近式
C:接近式的分辨率受到衍射的影响
D:投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E:投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
出自:
集成电路制造工艺员
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