（）的气体源中一般包含H<sup>+</sup>，C<sup>+</sup>，B<sup>+</sup>，Cl<sup>+</sup>，O<sup>+</sup>等离子。<br>A:Cl<sub>2</sub><br>B:BCl<sub>3</sub><br>C:CO<sub>2</sub><br>D:H<sub>2</sub> - 自考题库

（）的气体源中一般包含H⁺，C⁺，B⁺，Cl⁺，O⁺等离子。
A:Cl₂
B:BCl₃
C:CO₂
D:H₂

出自：集成电路制造工艺员

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