在刻蚀（）过程中假如我们在CF<sub>5</sub>的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。<br>A:铜<br>B:铝<br>C:金<br>D:二氧化硅 - 自考题库

在刻蚀（）过程中假如我们在CF₅的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。
A:铜
B:铝
C:金
D:二氧化硅

出自：集成电路制造工艺员

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