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为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞,故真空室内真空度要到达10-3Pa以下,以满足()条件
A:气体分子平均自由程小于蒸发距离.
B:气体分子平均自由程远大于蒸发距离
C:气体分子平均自由程等于蒸发距离。
D:气体分子平均自由程的平方大于蒸发距离。
出自:
真空镀膜操作工
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