Si-SiO<sub>2</sub>界面电荷有哪几种？简述其来源及处理办法。 <img src="/Image1/40/40385e581a7585b9f1e81ca99efab26a.png" /> - 自考题库

Si-SiO₂界面电荷有哪几种？简述其来源及处理办法。

出自：半导体芯片制造工

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