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在温度相同的情况下,制备相同厚度的氧化层,分别用干氧,湿氧和水汽氧化,哪个需要的时间最长?()
A:干氧
B:湿氧
C:水汽氧化
D:不能确定哪个使用的时间长
出自:
半导体芯片制造工
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