光刻加工的工艺过程为( )。
·①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
·①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
·①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
·①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦清洗
出自：佳木斯大学语言治疗学

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