1.电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应，是一种化学加工。 ( ) - 自考题库

1.电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应，是一种化学加工。 ( )

出自：西安交通大学--先进制造技术学习指南

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